摘  要： 研究了一種高頻高壓脈沖電源，利用交直流疊加技術(shù)，產(chǎn)生高頻高壓快速上升沿的交流脈沖，滿足產(chǎn)生低溫等離子體的需求。電源主要由交流電源、直流電源和交直流耦合電路（包括反應器）組成。實驗結(jié)果表明，交直流疊加電源能夠產(chǎn)生良好的低溫等離子體。